增强双光子微细加工分辨率的新技术

摘要：

通过对双光子微细加工的原理分析,探讨了双光子加工中可能影响最终分辨率的各个因素,在所建立的分辨率理论模型指导下,研究了通过优化工艺参数实现双光子微细加工分辨率增强的方法,并进一步提出了使用衍射光学器件改变激励光波面分布以实现加工分辨率增强的方案.针对衍射光学器件方案进行了基于矢量衍射理论的具体设计和初步实验验证.

关键词：双光子加工、分辨率增强、衍射光学器件

分类号：TN24(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家973计划资助项目2003CB716204

在线出版日期：2009-03-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：9-11,15