二维纳米胶体球膜版的制备研究

摘要：

二维纳米胶体球膜版是利用纳米球刻蚀法制备纳米颗粒阵列的前提条件.介绍了一种利用自组装法在基片上直接制备二维聚苯乙烯纳米球膜版的新工艺,讨论了影响获得大面积、高度有序膜版的主要因素,即基片的倾角、悬浮液的浓度、基片的物理化学性质、环境的温度和湿度.利用原子力显微镜对膜版的形貌进行了表征,结果表明,利用这种工艺可以得到排列均匀、面积达平方厘米量级的纳米胶体球膜版,非常适于纳米球刻蚀法的后序工艺.

关键词：自组装、纳米结构、胶体、二维晶体

分类号：TN305.7(半导体技术)

资助基金：北京市教委科技发展基金资助项目KM200710028005

在线出版日期：2009-01-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：47-49