基于自抗扰控制器的6-DOF磁悬浮平台悬浮高度控制

摘要：

介绍一种应用于半导体光刻、微型装配、纳米技术等领域的新型磁悬浮平台.针对该平台的悬浮部分是一个具有参数摄动、输入耦合的复杂系统,采用自抗扰控制器的控制方法,实现对内部扰动和外部扰动的补偿.仿真结果表明,这种控制方案有较好的动态、静态特性及鲁棒性.

关键词：6-DOF磁悬浮平台、参数摄动、自抗扰、扩张状态观测器

分类号：TM921.541

资助基金：吉林省科技厅资助项目20050263

在线出版日期：2008-10-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：50-54