基于扫描电子显微镜的集成电路显微拍摄系统

摘要：

提出使用扫描电子显微镜来获取集成电路芯片的形貌图像,以弥补光学显微镜分辨率的不足.利用拼接的方法来获得完整的芯片形貌图像.描述了压电陶瓷电机驱动工件台的工作原理.该工件台的定位误差小于20 nm,可使临近图像的重叠区域保持一致.介绍了使用电子束扫描控制器对电镜扫描场进行增益、旋转和位移校正的方法,使获得的芯片图像不需旋转即可进行拼接,减少了后续图像处理软件的工作量.实验证明,该系统可以获得亚微米级芯片的清晰图像.

关键词：芯片显微拍摄、电子束控制器、压电陶瓷电机

分类号：TN305.7(半导体技术)

在线出版日期：2008-10-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

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