柔性神经微电极阵列设计及微加工工艺研究

摘要：

采用聚对二甲苯(parylene)作为基底,通过对柔性神经微电极阵列结构、引线排布、电极材料等进行优化选择和设计,并采用微机电加工工艺(MEMS),设计并研制出了2×8柔性神经微电极阵列,旨在为视网膜神经接口电极的研究开发奠定基础.

关键词：微电极阵列、聚对二甲苯、微加工工艺、柔性基底、视网膜修复

分类号：TN305(半导体技术)

资助基金：973项目资助2005CB724302,2005CB724305;中国博士后科学基金资助项目20070410724

在线出版日期：2008-10-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：43-47