离子注入机大行程垂直扫描系统的研制

摘要：

采用垂直扫描系统是离子注入机最常用的扫描方式之一,着重阐述了一种大行程垂直扫描系统的系统构成、设计思路和实现方法.经过实际使用证明,该系统提高了离子注入机机械扫描的可靠性和稳定性.

关键词：垂直扫描、气浮轴承、差压抽气、直线电机

分类号：TN305.3(半导体技术)

在线出版日期：2008-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：11-13