蓝宝石衬底上二维亚波长增透结构的设计分析

摘要：

利用等效介质理论、薄膜理论研究了二维亚波长结构的增透设计,以蓝宝石衬底为例,研究了二维亚波长结构的增透设计,分析了该结构的周期、占空比、高度等参数对增透率的影响,通过分析找到了合适的结构参数.结果表明,当二维亚波长结构的等效折射率等于增透镀层材料的折射率、刻蚀高度等于单层理想增透膜的厚度时,这种结构具有良好的增透效果.采用蓝宝石双面设计二维亚波长结构后,在3μm-5μm波段的平均透过率可达99.25%.

关键词：亚波长结构、增透、周期、占空比、高度

分类号：TN304.055(半导体技术)

在线出版日期：2008-06-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：18-20