中能离子注入机用静电吸盘

摘要：

简要介绍了静电吸盘的工作原理,理论分析了六相静电吸盘的工作模式,对静电吸盘进行了结构设计和制作工艺研究,并对静电吸盘的工艺性能尤其是静电吸盘在不同压力的氮气冷却性能进行了研究.实验结果表明.静电吸持电压的频率为30 Hz时最佳,这时电压一般为0.5 kV-1 kv,所需电源的功率较小.

关键词：静电吸附、六相静电吸盘、离子注入

分类号：TN305.3(半导体技术)

在线出版日期：2008-06-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：5-7