液体中微悬臂传感器共振检测技术的研究

摘要：

讨论了微悬臂生化传感器在动态模式下的工作原理,针对在液体环境中阻尼增大、微悬臂共振品质因素下降的问题,设计了一个正反馈电路,使得微悬臂在液体中能够稳定在其固有频率上自激振荡.从而简便地测出微悬臂传感器在吸附分析物之后的频率变化.实验中将黄金Au溅射于微悬臂上,每次溅射的厚度为1nm,等效质量约为0.042 72 ng,溅射12次,测得去离子水中微悬臂的频率随溅射的Au质量的增加,约以-10.089 Hz/,pg的线性趋势下降,微悬臂对附加质量的检测分辨率提高了约200倍,达到1 pg.

关键词：微悬臂、正反馈、自激振荡、共振频率、Au

分类号：TP212;TNL6(自动化技术及设备)

资助基金：国家自然科学基金10427401

在线出版日期：2008-06-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：59-64