小量程、高灵敏度微压力传感器的优化设计

摘要：

为了提高小量程微压力传感器的灵敏度,提出了一种新结构模型,通过理论分析,发现硅膜越薄,量程越小,灵敏度越高.并对此模型进行ANSYS应力仿真,发现在小量程负荷条件下,新结构模型应力峰值约为10.7 MPa,C 型硅杯应力峰值为2.25 MPa,E 型硅杯应力峰值为2.8 MPa,通过比较可以看出,优化后的模型提高了微型压力传感器的灵敏性,验证了此模型的合理性.这种优化设计方法对小量程、高灵敏度微型压力传感器的研制具有一定的参考价值.

关键词：微压力传感器、小量程、高灵敏度、仿真

分类号：TP212(自动化技术及设备)

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划2003AA404140

在线出版日期：2008-06-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：50-53,64