期刊专题

准直碳纳米管的非均匀生长研究

引用
用CH4,NH3 和H2 为反应气体,利用等离子体增强热丝化学气相沉积在沉积有Ta缓冲层和Ni催化剂层的Si衬底上制备了准直碳纳米管,并用扫描电子显微镜和透射电子显微镜对它们进行了研究.结果发现,尽管碳纳米管在相同的生长条件下生长在同样的衬底上,其直径和长度仍不同, 表明它们是非均匀生长.应用有关热力学理论研究了碳纳米管生长的非均匀性,结果表明,碳纳米管的非均匀生长是由催化剂颗粒的大小不同所致.

扩散、化学气相沉积、准直碳纳米管

O631.71(高分子化学(高聚物))

2008-06-02(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)

共4页

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微细加工技术

1003-8213

43-1140/TN

2007,(4)

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