电感耦合等离子体源的研究进展

摘要：

在简要回顾传统高密度等离子体源的基础上,重点介绍了新一代的低温高密度等离子体--电感耦合等离子体源(ICP)的放电机理,并结合最近的研究进展,系统分析了ICP的性能影响因素,总结了ICP目前存在的问题,展望了其应用前景.

关键词：电感耦合等离子体、E型放电、H型放电、静电耦合效应、电子能量分布函数、电感线圈

分类号：TN3(半导体技术)

在线出版日期：2008-06-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：6-10