MEMS微电磁驱动器磨损对光开关性能的影响分析

摘要：

光开关中运动元件的磨损对光学元件的位置精度有重要影响.介绍了MEMS微电磁驱动器磨损对光开关光学性能影响的理论分析,采用光纤光学理论计算了磨损所引起的光开关的附加插入损耗,结果表明,所采用的微电磁驱动器磨损引起的附加插入损耗小于0.02 dB,其磨损特性可以满足光通信开关的要求,实验结果证明了理论分析的正确性.此方法对光开关和MEMS微驱动器的研究具有指导意义.

关键词：微机电系统(MEMS)、微电磁驱动器、光开关、磨损

所属期刊栏目：2

分类号：TN36;TP271+.4(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金10477015;教育部跨世纪优秀人才培养计划NCET-05-0843;陕西省科技攻关项目2004K05-G14;陕西省西安市科技攻关项目GG05042

在线出版日期：2007-07-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：49-51