多层薄膜微结构热应力计算

摘要：

建立了以制作工艺为基础、适合多层薄膜微结构的热应力的计算公式.在Stoney方程相同的条件下,验证了所建模型的准确性.所建模型应用于多层微悬臂梁结构在残余应力作用下的形变计算,与实验测量结果的对比表明,误差在10%以内,说明所建模型具有非常好的实用性,可以为多层薄膜微结构设计和优化提供理论依据.

关键词：微机电系统、残余应力、模拟

所属期刊栏目：2

分类号：O484.1(固体物理学)

资助基金：国家自然科学基金60476032;上海市自然科学基金05ZR14015;东南大学MEMS教育部重点实验室开放研究基金

在线出版日期：2007-07-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：20-23