基于SEM的图形检测系统设计

摘要：

为满足快速扫描大面积图形的需要,设计了基于扫描电镜的高速图形检测系统.该系统采用快速硬件扫描方式来提高图形检测的速度,可应用于对芯片质量、内部线路状况的检测.介绍了以现场可编程逻辑门阵列(FPGA)为逻辑控制核心的图形检测系统的硬件结构及其工作流程,主要阐述了系统中的D/A转换部分电路的组成和工作原理、图形校正的原理以及系统设计时的注意事项.同时还给出了FPGA在系统中的主要功能以及程序流程图(程序采用VHDL(硬件描述语言)编写).

关键词：SEM、快速、D/A、FPGA、VHDL

所属期刊栏目：2

分类号：TN305.7(半导体技术)

在线出版日期：2007-07-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1-4,33