衍射光学元件制作中的基片涂胶方法

摘要：

在基片上涂布一层厚度均匀的光刻胶层,是衍射光学元件制作中的一个重要步骤.介绍了目前用于衍射光学元件制作的两种主要涂胶方法--提拉法和旋转法,分析了这两种方法的特点和影响胶层厚度的主要因素,尤其是对其均匀性的影响,并提出了获得均匀胶厚的途径.对于提拉涂胶,选择粘度较高的光刻胶溶液与合适的提拉速度将有助于减小Marangoni流动和Van der Waals力对膜厚均匀性的影响;对于旋转涂胶,可以通过密封基片所在空间,或者通过气流控制器使基片上方空气流动处于层流状态来获得均匀一致的溶剂挥发速率,从而提高胶层的均匀性.

关键词：衍射光学元件、提拉涂胶、旋转涂胶

分类号：TN305(半导体技术)

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划804-9-2;国家自然科学基金50375149

在线出版日期：2007-07-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：19-23