液态金属镓离子源的制备

摘要：

叙述了为纳米聚焦离子束装置研制的镓液态金属离子源的制备,并对该离子源的I-V特性、角电流密度、稳定性以及寿命等性能进行了测试,结果表明,该源的各项指标均达到了聚焦离子束系统对液态金属离子源的性能要求.

关键词：聚焦离子束、液态金属离子源、测试系统、发射尖

分类号：TN405(微电子学、集成电路（IC）)

在线出版日期：2007-07-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：7-10,59