满足自锐效应的AFM探针针尖加工

摘要：

根据各向异性湿法刻蚀针尖的自锐效应模型和晶面交点模型, 设计了AFM探针针尖加工工艺流程,并进行了针尖加工实验.通过分析实验结果并结合晶面交点模型,分别得到了针尖形状与蚀液浓度、刻蚀液温度、添加剂、掩模方向的关系.结合自锐效应模型,得到了(100)硅片刻蚀针尖自锐条件.最后对工艺参数进行了优化,采用15 mol/L的KOH溶液,在70 ℃,并且方形掩模边缘平行于<110>方向,可以得到满足自锐效应的、重复率高、表面粗糙度小、高宽比为1.56的单晶硅针尖.

关键词：AFM、单晶硅、针尖、各向异性

分类号：TH742(仪器、仪表)

在线出版日期：2007-06-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：52-57,62