用于微流控芯片的PDMS微混合器工艺和数值分析

摘要：

介绍了一种用软光刻技术制作微流芯片上PDMS微混合器的工艺.首先用SU-8胶制作微模具,然后用复制压模法制作出PDMS微通道,最后用紫外光表面改性实现PDMS材料和玻璃基片的键合.阐述了微混合的机理,用数值分析方法对三种形状微混合器进行了液体混合效率的分析,结果表明,弯形管道特别是Z形管道,由于惯性力在横截面上产生的二次流动能有效增大液体间的微混合面积,因而大大提高了液体混合的效率.

关键词：软光刻、聚二甲基硅氧烷、复制-压模法、混合效率

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2007-06-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：48-51,62