陶瓷微结构的制作研究

摘要：

研究了一种制作高精度、大高宽比高铝陶瓷微器件的工艺方法.首先利用同步辐射曝光,制作出带有微结构的PMMA模具.模压后,溶去模具,在1 700 ℃烧结成型.利用这种工艺,获得了宽度23 μm,高度400 μm的陶瓷微结构.同时,利用该工艺进行了陶瓷微反应器的初步研制,实现了陶瓷微管道的加工.

关键词：陶瓷微结构、陶瓷微反应器、同步辐射曝光、压模

分类号：TN304.82(半导体技术)

资助基金：高等学校博士学科点专项科研项目20020358024

在线出版日期：2007-06-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：40-43