基于PZT厚膜驱动的微喷芯片的设计

摘要：

设计了一种基于双压电薄膜驱动的微喷芯片,该芯片中每个流体单元结构主要是由进样室、微管道、喷口以及集成了PZT驱动器的主副贮液室组成,其中主驱动器提供喷射液体的驱动力,副驱动器抑制液体回流;采用计算流体力学模拟(CFD-simulation)对其进行了结构设计、进样模拟和喷样模拟,结果表明,液体能成功进样及喷样.同时当微管道尺寸小于40 μm时,喷样过程中微管道内将不再产生回流,证明双PZT驱动器的芯片设计合理,为该芯片的制作打下基础.

关键词：微喷芯片、PZT驱动器、回流、CFD模拟

分类号：TN304.055(半导体技术)

资助基金：国家重点基础研究发展计划973计划2005CB724305;中国科学院方向性项目KGCX2-SW-10

在线出版日期：2007-06-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：28-31