光刻机掩模台宏动定位系统的控制器设计

摘要：

为给步进扫描光刻机的设计研究提供理论指导,解决光刻机掩膜台宏动平台的控制问题,采用直线电机设计了高速、高精密步进扫描光刻机的掩模台模拟宏动定位系统,并建立了整个直线运动平台的数学模型.根据该系统的特点和模型,还设计了一种不完全微分PID+干扰观测器的控制方式.运用MATLAB软件进行仿真,结果表明,在具有相同的扰动下,仅采用普通PID控制,系统跟踪误差在±0.025 mm范围内变化,而采用该控制方式,系统跟踪误差在±0.015 mm的范围内变化,后者比前者具有更好的控制性能,因而可以使系统得到较好的抗干扰能力、跟踪性能和控制效果.

关键词：干扰观测器、光刻机、掩模台、控制系统

分类号：TH161+.6

资助基金：国家自然科学基金50390064;上海市科委资助项目

在线出版日期：2007-06-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：22-27