电子束液态曝光技术中的穿透深度预测研究

摘要：

穿透深度预测是电子束液态曝光技术中的一个重要课题.采用对比分析的方法对Monte Carlo模拟和Grun公式在预测液体抗蚀剂穿透深度中的适用性进行了研究,得出了可以使用这两种方法对高能电子在液体抗蚀剂中的穿透深度进行预测的结论,并以环氧618为液体抗蚀剂进行实验验证,证明了结论的正确性,拓宽了两种方法的适用范围,为不同厚度液体抗蚀剂涂层穿透所需加速电压的快速、准确选定提供了参考依据.

关键词：穿透深度、电子束、曝光、Monte Carlo、Grun

分类号：TN305.7(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金90307003;山东省自然科学基金Y2003G03;山东省科技攻关项目022090105

在线出版日期：2007-06-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：11-14,27