微电铸技术及其工艺优化进展研究

摘要：

随着微机电系统(MEMS)和微影微电铸微模铸(LIGA)两种技术的发展,微电铸工艺正逐渐展现着其独特的魅力和发展潜力.然而,现有工艺中存在的缺陷也严重阻碍了其进一步发展.因此,对微电铸工艺进行深入研究,突破其工艺瓶颈,将对微加工工艺的应用和推广起着重要作用.着眼于目前微电铸工艺中存在的不足,从工艺缺陷的理论形成机理出发,总结了近期微电铸领域在工艺缺陷的改进方面所做出的努力及成果,并对微电铸工艺未来的发展趋势提出了一些看法.

关键词：微电铸工艺、微影微电铸微模铸、微机电系统、选择性射流电铸

分类号：TQ153.4

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划2002AA2Z2011

在线出版日期：2007-06-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：1-5,27