劈刀和肋环夹持工况对超声键合换能系统电学特性的影响

摘要：

通过实验分析了肋环夹持松紧度和劈刀存在两个因素对超声键合换能系统电学导纳特性的影响规律.对换能系统在悬挂有无劈刀和夹持8个松紧度等各个情况下进行谐振频率附近的导纳圆测量,确定换能系统等效电路各特征参数的变化情况.由实验结果的分析可知,劈刀的附加质量以及肋环松紧程度对换能系统谐振频率的影响不大,但劈刀的存在改变了换能系统的能量分布和耗散,是影响换能系统各特征参量的主要因素之一.这些结论有助于超声键合换能系统的优化.

关键词：超声键合、压电换能系统、等效电路、导纳

分类号：TN305(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金50575230;50429501;50390064;国家重点基础研究发展计划973计划2003CB716202

在线出版日期：2007-06-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：59-64