微拾振器压电悬臂梁结构的设计与测试

摘要：

提出了一种压电悬臂梁结构的微拾振器,利用有限元法计算了结构的固有频率和电压输出,以设计适合具体应用环境的器件结构.采用MEMS技术制备了器件原型并进行了试验测试.研究表明,所制备的器件在加速度为9.8 m/s2的低频谐振激励下电压输出达200 mV以上.考虑到压电薄膜的制备和湿法刻蚀硅造成的不均匀性,可以认为,测试结果和模拟结果基本相符,为设计、制备高性能的器件打下了良好的基础.

关键词：微拾振器、压电悬臂梁、有限元模拟、固有频率、电压输出

分类号：TN384(半导体技术)

在线出版日期：2007-06-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：55-58,64