基于MEMS的无阀泵的数值仿真与参数设计

摘要：

扩张管和收缩管的流量和效率是无阀泵工作性能的决定因素,运用有限元分析软件Ansys/Flotran,对扩张管和收缩管的结构对流量和效率的影响进行了数值分析,计算结果表明,入口修圆的扩张管和收缩管的流动特性优于常规结构的扩张管和收缩管,随着最小宽度的增加,流量逐渐增大,但效率存在一个最大值点.较小的压差下大一些的扩张角有利于流量和效率的提高,随着压差的增大,就要选择小一些的扩张角,以避免扩张管中发生边界分离现象.较大的深度有利于提高流量和效率,而长度对流量、效率的影响不大.

关键词：MEMS、微型无阀泵、数值仿真、参数设计

分类号：TH3(泵)

资助基金：辽宁省教育厅资助项目05L062

在线出版日期：2007-06-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：41-46