化学修饰溶胶-凝胶法制备功能薄膜微细图形

摘要：

介绍了一种功能薄膜微细图形制备新方法-化学修饰溶胶-凝胶法.该方法的特点是在溶胶-凝胶制膜过程中引入化学修饰法,从而赋予薄膜以感光特性.利用该特性制备了微细图形,简化了工艺流程,并可以获得具有微米级的功能薄膜微细图形.概述了这种方法制备薄膜微细图形的原理、工艺流程以及主要影响因素,并对其在光波导薄膜、铁电薄膜和透明导电氧化物薄膜微细图形制备领域的研究情况进行了综合评述.最后对该方法的研究趋势进行了展望.

关键词：微细图形、功能薄膜、溶胶-凝胶、化学修饰

分类号：TN304.055(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金50372038

在线出版日期：2007-06-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：24-26,35