硅微喷阵列芯片的设计、制作与应用研究

摘要：

介绍了一种用于制作生物微阵列的新型微喷阵列芯片.基于半导体光刻技术和干法刻蚀技术,成功制作了喷孔外侧含有间隙环的硅微喷阵列芯片,解决了溶液进样难、微阵列样品点缺失、样品点漂移以及液体回流等问题.在5 kPa气压驱动下,该芯片中的样品能在3.4 mm×3.4 mm的玻璃片上制成5×5样品微阵列,25个点的直径平均值为356 μm,直径的变异系数(25个点直径的标准偏差与算术平均值的比值)为2.8%.计算流体力学模拟结果和实验结果均表明,该微喷阵列芯片能快速、稳定地制作出样品点大小均一的微阵列,进一步推动了微阵列芯片的应用和发展.

关键词：微喷阵列芯片、微阵列、深反应离子刻蚀、计算流体力学模拟

分类号：TN305(半导体技术)

资助基金：中国科学院知识创新工程项目KGCX2-SW-108

在线出版日期：2006-12-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：48-52