微喷射技术制备的化学镀金属银线微结构

摘要：

采用一种称为微喷射的新方法制备了微米尺度金属银线.在该方法中,用压电陶瓷驱动器提供的微振动实现微喷嘴内部液柱的均匀破碎和喷射,并通过微喷射系统,把银氨溶液和还原剂溶液喷射到基材表面.采用金属化学沉积技术,在室温下还原出金属银,并沉积在指定的位置.构建的微喷射系统具有脉冲可控和喷射量可控的特征,并且能够实现皮升(picoliter)到飞升(femtoliter)级的微量液体的喷射,因此能够在玻璃基材上获得致密的金属银线,线宽可以按照需要在数微米至数百微米范围内调整.该方法可以在平面或曲面上直写微电路制作微型PCB线路板.由于镀层的可叠加性,该技术还可以用于三维金属微构件的制造.

关键词：化学镀、微结构、微喷射、微流体、数字化、微机电系统

分类号：TQ15

资助基金：国家自然科学基金50275079;江苏省科技攻关项目BE2005013

在线出版日期：2006-12-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：49-53