微反应器中的微制作技术

摘要：

探讨了微反应器制作技术的创新与优化,分析了微反应器的基本结构与常用材料,总结了它的三种主要加工技术,即硅体微加工、超精密加工与LIGA工艺,以及四种常用的连接方法,即键合技术、高能束焊接、扩散焊与粘接,指出了在选材、加工、连接等方面应注意的问题,并给出了相应的实例,其中包括一台利用铁-铬-铝不锈钢片制作的甲醇重整制氢微反应器,它采用放电加工和湿法刻蚀技术,用扩散焊实现了连接密封,经100 h的连续试验表明,该微反应器可以与10 W的燃料电池配套使用.最后指出了目前在该领域存在的主要问题.

关键词：微反应器、微制作、结构、材料、加工、连接

分类号：TQ03;TQ051;TH16(一般性问题)

资助基金：广东省博士启动基金20040251003

在线出版日期：2006-06-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：54-60