(110)硅基MEMS光开关光纤定位槽的设计

摘要：

利用KOH溶液腐蚀在(110)硅片上制作2×2 MEMS光开关,微反射镜表面光滑且垂直度较好,其质量高于用同样方法在(100)硅片上制作的反射镜,但是却存在自对准V型槽难以实现的问题.依据(110)硅片的结晶学特点,设计并制作了夹角为38.94°的两个光纤定位槽:一个为U型槽,两侧面均为{111}面;另一个是呈锯齿状的光纤槽,它是由腐蚀出的平行四边形蚀坑串组成.介绍了锯齿状沟槽的实现原理,对平行四边形蚀坑尺寸进行了分析设计,并采用菱形凸角补偿结构实现凸角补偿.这两种光纤定位槽结构都能够很好地固定光纤,并实现了光纤的自对准,且制作方法简单.

关键词：光开关、(110)硅片、耦合、锯齿状沟槽

分类号：TN25(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家科技攻关项目2002AA312023

在线出版日期：2006-06-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：45-48