基于MEMS的双功能温控芯片的设计与制作

摘要：

为满足微全分析系统集成化的发展要求,设计制造了一种微型温控芯片.该芯片以硅为基底,采用MEMS工艺集成了加热和温度传感双重功能.介绍了芯片的制作工艺,并对加热器和温度传感器的性能进行测试和分析,结果表明,该芯片加热响应迅速,温度传感器灵敏度高、线性度好.而且这种温控芯片体积小、结构简单,易于集成.

关键词：微全分析系统、双功能温控芯片、MEMS、温度控制

分类号：TP271;O65(自动化技术及设备)

资助基金：国家科技攻关项目2003AA-3-A19;2004AA404250;中国科学院知识创新工程项目

在线出版日期：2006-06-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：41-44