CIF格式挖空多边形切割为PG3600格式矩形的算法

摘要：

给出了一种微光刻图形CIF格式的中间挖空多边形切割成PG3600格式所需矩形的新算法.首先,用水平扫描线把有内环的多边形切割成三角形或梯形;然后,把三角形或梯形切割成矩形和直角三角形;最后,把直角三角形用矩形包围或将其直接切割成矩形.本算法的优越性在于不需要先把挖空多边形切割成凸多边形后再进行切割,而是直接进行,对于三角形则采用了矩形包围拼接的方法,大大减少了切割出的矩形数据量.另外,本算法同样适用于没有内环的凸凹多边形的切割.

关键词：微光刻图形、数据格式转换、挖空多边形、图形切割

分类号：TN305.7;TP301.6(半导体技术)

资助基金：国家重点基础研究发展计划973计划G2000036504;2002CB311907;2002AA325040;中国科学院资助项目60290081;60276019;90207004;60376020;60236010

在线出版日期：2006-06-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：5-7,20