微光机械振动传感器的设计与制作

摘要：

采用旋涂和干法刻蚀技术,制作了一种新型有机集成微光机械振动传感器,其主要结构是由在硅基上制作的聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)悬臂梁和光波导集成光路组成,探测光路采用强度调制型开环差分探测,利用光-机转换功能,实现对微小振动量的检测.通过对该器件结构参数的优化设计和幅频特性分析表明,所制备的器件具有灵敏度高、线性度好、抗电磁干扰、工艺简单、成本低等优点.

关键词：振动传感器、聚甲基丙烯酸甲脂(PMMA)、悬臂梁、光波导、灵敏度

分类号：TP212(自动化技术及设备)

资助基金：中国科学院资助项目60274041

在线出版日期：2006-05-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：61-64