基于MEMS的力传感器薄膜应变计加工工艺

摘要：

提出了在铝合金基体上磁控溅射80Ni20Cr薄膜电阻应变计的加工工艺,说明了其工艺的实现步骤.采用低弹性模量的铝合金制作力传感器的弹性体可以提高力/力矩传感器的灵敏度.提出了一种适合MEMS加工的全平面的力/力矩传感器弹性体结构.并介绍了薄膜电阻应变计构成的微型六维力传感器和薄膜厚度的测量手段.通过实验证实,此种薄膜工艺的应用提高了力传感器的测量精度.

关键词：薄膜、应变计、力传感器、MEMS

分类号：TP212(自动化技术及设备)

资助基金：中国科学院资助项目60275032;国家科技攻关项目2003AA404220

在线出版日期：2006-05-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：52-55