基于MEMS的条栅状微过滤器的设计与制作

摘要：

为了满足微型全分析系统对样品分离的集成度要求,提出了一种新型的微分离技术.利用MEMS技术设计制作了一种条栅状的硅微结构的过滤器,线宽14 μm,周期40 μm.介绍了其制作工艺,并用碳化硒微粒做了过滤实验以验证其过滤效率.结果表明,这种硅微过滤器能有效去除悬液中直径在14 μm以上的微粒,且生物兼容性好,结构简单,易于实现片内集成.

关键词：微型全分析系统(μTAS)、血细胞分离、微过滤器、MEMS、微分离技术

分类号：TP65(射流技术（流控技术）)

资助基金：国家科技攻关项目2004AA404250;中国科学院知识创新工程项目C02X01Z

在线出版日期：2006-05-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：48-51