微悬臂梁结构氢气传感器的制作研究

摘要：

提出了一种基于微悬臂梁结构的布拉格光栅氢气传感器,阐述了该类型传感器的工作原理及制作工艺流程,并利用MEMS技术制作了传感器样品,同时在-60 ℃～90 ℃、氢气浓度为0.5%～10%范围内对该传感器样品进行了测试.结果表明,在环境温度为25 ℃、氢气浓度为4%的情况下,当测试时间为30 min时,反射波长改变量可达0.15 nm;在10 s的快速反应测试中,反射波长改变量可达0.003 5 nm,能够满足实际应用要求.

关键词：MEMS、光栅、氢气传感器

分类号：TP212.1(自动化技术及设备)

在线出版日期：2006-05-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：45-47,64