准分子激光工艺参数与修饰表面形貌的关系

摘要：

利用准分子激光加工技术,以Al2O3陶瓷材料作为试件,构建表面微观形貌.采用表面形貌仪测量表面轮廓,用自行开发的表面形貌参数表征软件系统绘制轮廓曲线,研究准分子激光加工工艺参数与修饰表面微观形貌之间的关系.结果表明,随着激光器上放大器电压和激光脉冲频率的增大,刻蚀凹槽深度逐渐增大,而随着扫描速度的增大,刻蚀凹槽深度却逐渐减小.此外,还发现刻蚀凹槽呈锥状,且两侧出现了稍微的隆起,这是由凹槽两侧少量喷溅物造成的.

关键词：表面形貌、准分子激光、工艺参数、Al2O3陶瓷

分类号：TH117.1

资助基金：中国科学院资助项目50275071

在线出版日期：2006-05-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：20-22