PMMA基PCR微流控生物芯片准分子激光加工

摘要：

采用准分子激光在PMMA基片上刻蚀加工出PCR微流控生物芯片,分析了准分子激光能量密度和工作台移动速度对微通道加工质量(深度及粗糙度)的影响,加工过程中选择较低的激光能量密度和较高的工作台移动速度,都有利于获得底面更加光滑的微通道.通过热键合的方法制备出完整的密闭式PCR微流控生物芯片.

关键词：微加工、微流控生物芯片、准分子激光、聚合酶链式反应

分类号：TN249(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划50335050;北京市自然科学基金3031001

在线出版日期：2006-05-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：16-19