电子束曝光机传输片机械手研制

摘要：

以前的传输片机械手由于采用双浮动滑板结构来实现各个状态的定位,长时间使用易导致机械磨损、弹簧应力疲劳等,出现机械手碰撞片夹或抓不到片等现象,难以实现高精度、高可靠性的定位.研究中的传输片机械手采用卡尔登直线运动机构配合两根导向动轴以达到长期运行的稳定性及可靠性,克服了原传输片机构存在的上述问题,且动作过程有所简化,机构体积大大缩小,动作可靠性和准确度显著提高.介绍了传输片机械手的功能、组成及其结构设计,叙述了传输片机械手的动作原理和系统控制流程.

关键词：自动传输片、机械手、电子束曝光机

分类号：TN305.7;TP241(半导体技术)

资助基金：中国科学院科研项目H2K0206

在线出版日期：2006-05-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：13-15,26