CIF数据格式转换成PG3600数据格式的新切割算法

摘要：

为了编制能够运行于Windows操作系统且又能够挂靠在L-EDIT数据格式上的转换软件,提出了一种新的将微光刻图形CIF数据格式转换为PG3600数据格式的图形切割算法--沿边切割法,重点讨论了圆形和多边形切割成矩形的具体算法,并与其它几种常见的切割算法进行了比较,表明该算法对于不规则图形的切割具有明显的优越性.

关键词：微光刻技术、数据格式转换、图形切割、沿边切割算法

分类号：TN305.6(半导体技术)

资助基金：科技部科研项目G2000036504;2002CB311907;2002AA325040;中国科学院资助项目60290081;60276019;90207004;60376020;60236010

在线出版日期：2006-05-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：7-12