电子束液态曝光技术的甩胶原理研究

摘要：

在研究液体抗蚀剂受力分析的基础上,对液体抗蚀剂的甩胶原理,甩胶后抗蚀剂的液面形状、抗蚀剂涂层厚度与抗蚀剂黏度和马达转速之间的关系等进行了研究.结果表明,涂层表面形状为平面;随着马达转速的增加,涂层厚度逐渐减小;而随着抗蚀剂黏度的增大,涂层厚度却逐渐增大.在此基础上,以Epoxy 618为液体抗蚀剂进行了甩胶实验,得出了不同黏度下的转速-厚度曲线,验证了研究结果的正确性.最后给出了3 μm厚的液体抗蚀剂Epoxy 618经SDS-II型电子束曝光机曝光后固化所得线条的JXA-8800R电子探针图.

关键词：甩胶、电子束、抗蚀剂、流体

分类号：TN305.7(半导体技术)

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划90307003;教育部科学技术研究项目Y2003G03;山东省科技攻关项目022090105

在线出版日期：2006-03-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

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