液态金属离子源发射系统的电场计算

摘要：

针对液态金属离子源的发射系统属于轴对称系统的特点,采用动态喷流柱模型,利用模拟电荷法对液态金属离子源发射系统的电场进行了计算,结果表明,该方法计算精度高,非常适合于电子束、离子束系统发射极附近电场的计算.

关键词：液态金属离子源、模拟电荷法、发射系统、动态喷流柱

分类号：TN305.3(半导体技术)

在线出版日期：2005-11-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：20-26