一种新型电子束曝光文件格式设计及其应用

摘要：

提出一种新型的电子束曝光数据格式,引入了面向对象的设计和适应于矢量型电子束扫描方式的设计,提高了对通用图形数据格式转换的精确度和效率,同时更便于对电子束曝光机的曝光控制.该设计已在电工所的科研项目"纳米级电子束曝光系统"中得到应用,被称之为EDF数据格式.

关键词：电子束曝光机、数据格式转换、面向对象的设计、矢量型电子束扫描

分类号：TP319;TN305.7(计算技术、计算机技术)

在线出版日期：2005-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：24-27,45