电子束曝光机背散射电子检测电路的研究

摘要：

概述了扫描电子束曝光机的检测对准原理,介绍了背散射电子信号特性及其在对准技术中的作用,并对背散射电子检测电路的组成和工作原理进行了阐述.同时给出了一种背散射电子检测电路实验装置的框图和原理图,所设计的多级滤波电路和PCB板的布线方式实现了对模拟信号处理电路噪声的抑制,从而得到了清晰的专用对准标记形貌图像.

关键词：扫描电子束曝光机、背散射检测器、模拟电路、噪声

分类号：TN305.7(半导体技术)

在线出版日期：2005-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：15-19