分子动力学在研究激光蚀除机制中的应用进展

摘要：

介绍了分子动力学模拟的基本原理,并对国内外采用其研究金属、半导体、有机体等材料的激光蚀除机制的现状以及所涉及的关键技术进行了详尽的综述,最后指出了分子动力学模拟激光蚀除的进一步研究方向.

关键词：分子动力学模拟、激光蚀除、势函数、金属、半导体材料、有机体

分类号：TN249(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2005-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共10页

页码：5-14