悬臂梁接触式RF-MEMS开关的制作研究

摘要：

报道了悬臂梁接触式RF-MEMS开关的设计、制作和测试结果.整个工艺采用表面微机械加工技术,利用正胶作为牺牲层.其中开关的悬臂梁采用了"三明治"式的结构,即上下两层为SiO2,中间夹着一层Cr/Au合金,这种结构可使梁合为一体,且具有很好的机械性能.对350 μm长、200 μm宽、1.7 μm厚、且距底电极为2.5 μm的悬臂梁开关进行测试,其驱动电压约为20 V,在同类开关中是较低的.

关键词：悬臂梁、RF-MEMS开关、驱动电压

分类号：TM564(电器)

在线出版日期：2005-05-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：71-74