基于SU-8胶转子的非接触压电微马达

摘要：

研制了一种非接触压电微马达,通过阻抗分析仪对定子进行扫频测试,确定其共振频率,并且详细介绍了SU-8胶转子制作的工艺流程.利用转速仪比较不同形状和尺寸的转子在调频和调压下的转速,从而确立压电微马达的最优转子.转子半径为6 mm,叶片宽度为6 mm的三叶片转子转速最高为3 569r/min.转子的启动电压和最高电压分别为8 V和24 V.

关键词：SU-8胶转子、非接触、压电微马达

分类号：TM282(电工材料)

资助基金：中国科学院资助项目50205017

在线出版日期：2005-05-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：63-66