基于溶胶-凝胶技术的PZT厚膜快速成膜研究

摘要：

采用快速成膜技术在Pt(111)/Ti/SiO2/Si(100)衬底上成功制备了总厚度为2.56μm,结构致密且无裂纹的Pb(Zro.53,Ti0.47)O3铁电厚膜.研究了快速成膜技术中热分解温度对薄膜结晶取向的影响,分析了在相同退火条件下,分别采用不同热分解温度制备得到的薄膜的结晶状况.X射线衍射分析表明,采用350℃热分解温度得到的薄膜为单一钙钛矿相结构,且沿(100)晶向强烈取向;薄膜断面的扫描电子显微镜照片表明,该薄膜结构致密,晶粒呈现明显的柱状生长;薄膜的电学性能测试结果显示,薄膜的相对介电常数高达819,剩余极化为15 μC/cm2,矫顽场强为39 kV/cm.

关键词：Pb(Zro.53、Ti0.47)O3、铁电薄膜、溶胶-凝胶法

分类号：TN305.7(半导体技术)

在线出版日期：2005-05-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：58-62